Турбoмoлeкулярныe нaсoсы используют принципы молекулярной струи для создания и поддержания вакуума. Они способны создавать вакуум очень высоких уровней, которые обычно не могут быть достигнуты другими типами насосов. Принцип работы турбомолекулярных насосов https://tako-line.ru/catalog/vakuumnoe_oborudovanie/vakuymnye_nasosy/turbomolekulyarnye_nasosy/ основан на движении молекул в газе. Основным элементом насоса является ротор со множеством лопастей, расположенный внутри статора. Ротор вращается со сверхвысокой скоростью, порядка нескольких десятков тысяч оборотов в минуту. Газовые молекулы входят в турбину устройства из вакуумной камеры или системы. Вращение лопастей создает большую скорость потока молекул вдоль оси насоса. Этот поток направляется к выходу насоса, создавая разрежение (образуя вакуум).
Применение турбомолекулярных насосов
- Ядерная промышленность. Они могут использоваться для создания вакуума при обработке и испытаниях ядерных материалов и компонентов. Данные устройства используются в масс-спектрометрии для создания вакуума в анализаторах масс, что позволяет проводить точные исследования атомных и молекулярных составов материалов.
- Производство печатных плат. Турбомолекулярные насосы используются в процессах осаждения и гравировки при производстве печатных плат в вакуумных камерах. Чистая вакуумная среда важна для этих процессов, чтобы избежать загрязнения поверхности печатной платы и обеспечить точность и надежность производства. Вакуумные системы с этими приборами используются для чистки и сушки печатных плат перед нанесением покрытий и монтажом компонентов. Очищенные платы обеспечивают более надежное и качественное производство электронных устройств.
Данное устройство можно использовать со спиральным или мембранным насосом для создания безмасляного вакуума.